Stressmessung

Prozesskontrolle dank präziser Messung

Ex-situ Messsystem

SIG-500SP

Das Spannungsmessgerät SIG-500SP wurde entwickelt, um die mechanische Spannung in dünnen Schichten zu bestimmen. Auf Referenzsubstraten, die unkompliziert eingebaut werden, erfolgt die Messung schnell und einfach. Das System kann so gut wie überall aufgebaut und verwendet werden. Im Beschichtungslabor ist es somit ein hilfreiches Tool, um im Rahmen der Qualitätskontrolle oder der Schichtentwicklung die mechanischen Spannungen Ihrer Schichten zu bestimmen.

  • L x B x H:  50cm x 25cm x 25cm
  • Substrate:
    • einseitig spiegelnd (Glas, Si, etc.)
    • > 20mm x 10mm   &    < 100mm x 100mm
  • Dicke: 0.1mm bis 5mm 
  • Probeneinbau in wenigen Sekunden
  • Messwerterfassung in wenigen Sekunden
  • Dauermessungen über Stunden und Tage
  • Archivierung der Messdaten
  • Auflösung:

Ofenerweiterung

Mit der Ofenerweiterung für das SIG-500SP können die Spannungen in dünnen Schichten bei sich verändernden Temperaturen gemessen werden. Bei unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Substrat und Schicht führt dies zu einer thermisch induzierten Verformung der Probe. Aus dieser Verformung können der Elastizitätsmodul und der Ausdehnungskoeffizient der dünnen Schicht ermittelt werden. 

  • Substrate max. 60mm x 60mm
  • Maximale Temperatur 300°C
  • Heizrate ca. 10K / min
  • Heizleistung 200W

In-situ Messsystem

SIG-2000SP

Dieses System kann in Echtzeit die mechanischen Spannungen während der Beschichtung in Anlagen vermessen. Dabei sind durch die Verwendung eines Hochgeschwindigkeitsdetektors auch bewegte Substrate (z.B.  auf rotierenden Kalotten) messbar. Das System wird an der Beschichtungsanlage montiert und scannt durch ein Fenster das Referenzsubstrat regelmäßig ab. Die sich permanent verändernde Krümmung wird somit stetig erfasst.

  • L x B x H:  50cm x 25cm x 25cm
  • Substrate:
    • einseitig spiegelnd (Glas, Si, etc.)
    • > 20mm x 10mm   &    < 100mm x 100mm
  • Dicke: 0.1mm bis 5mm 
  • Probeneinbau in wenigen Sekunden
  • Messwerterfassung in wenigen Sekunden
  • Dauermessungen über Stunden und Tage
  • Archivierung der Messdaten
  • Auflösung: